真・MFC千夜一夜物語 第335話 MFCの健康診断 その4
マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)の健康診断はどこで受けるの?という題でお話をしています。
ユーザーが自社内の社内校正基準器を使用してMFCの流量が正しいかを測る際に「校正基準器とMFCをどう接続したらいいのですか?」という質問を頂く事があります。
具体的には「MFCを基準器の上流に置くべきなの?それとも下流に置くべきのの?」という意味です。