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前回はマスフローコントローラー（MFC）の応答性に関して、同じ熱式流量センサーでも、巻線型とMEMS型、インサーション型の差を比較してみました。

前回はマスフローコントローラー（MFC）の応答性に関して、流量制御バルブの構成部品であるアクチュエーターが、ピエゾが？それともソレノイドか？は、MFCとしての応答性能を決める決定的な要素ではない事をお話ししました。

前回はマスフローコントローラー（MFC）の応答性に関する定義をご説明しました。
比較する物差しが同じでないと意味がありませんからね。
それでなくてもMFCの応答性というスペックは、色んな誤解を生じてきたのです。

最近でこそあまり競わなくなったイメージがありますが、Decoが営業になった1990年代はMFCの応答性と精度の数字がどれだけ良いかを競う時代でした。

MFCで液化ガスが再液化した場合の対応をお話ししてきました。
液化しないようにするには、MFCを低圧損構造にして、狭い空間から広い空間に液化ガスが抜ける際に生じる"断熱膨張"を食い止める事が重要です。

マスフローコントローラー(MFC)内部で液化しないようにするには、①温度を上げる、②圧力を下げる の２つです。
今回は②圧力を下げるのお話をしましょう。

最近、Web-MTG等でご質問頂く内容で、これは！っと思ったものをご紹介しておきますね。
マスフローコントローラーの場合、機器の構成は以下の図のようになっているものがほとんどです。

はい、久しぶりのマスフロ徒然日記です。
今回のタイトルですが、これは初めてお客様の現場に行くDecoへ、当時のマスフローの師匠から投げかけられた言葉です。
「半導体関係の工場へ入る時は、床に透明な液体が漏れていても、ただの水だとは思うなよ！」という言葉でした。

8月も終わったというのに、まだまだ暑いですね。
今日は、少し変わったマスフロー？を紹介しましょう。
ブロンコスト・ジャパン（株）のMASS-VIEWシリーズです。