Blog :: EZ-Japan　マスフロー千夜一夜物語

2023年年の瀬を迎えて・・・

2023年12月05日

Decoのマスフロー徒然日記です。
2023年も残り1か月を切りました。
皆さんあわただしく、お仕事や学業に励んでおられるのではないでしょうか？
年の瀬に申し訳ないのですが、徒然日記というか、少しDecoの愚痴に付き合って頂けますでしょうか？

なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの？

2023年11月28日

MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題"Decoのマスフロー徒然日記"です。
さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。

真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第418話　マスフローに関する誤解　その9

2023年11月21日

Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター（MFM）、マスフローコントローラー（MFC）の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
最後のお話はMFCとMFMの応答性に関してです。

真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第417話　マスフローに関する誤解　その8

2023年11月14日

Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター（MFM）、マスフローコントローラー（MFC）の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
MFCとAPC(Automatic Pressure Controller)の話が出たので、おまけで供給圧制御型APCと背圧制御型APCの変わり種ブロンコスト（Bronkhorst High-Tech B.V.）のP-800シリーズに関してお話しておきましょう。

真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第416話　マスフローに関する誤解　その7

2023年11月07日

Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター（MFM）、マスフローコントローラー（MFC）の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
MFCとAPC(Automatic Pressure Controller)の話が出たので、このお話の最後におまけでAPCに関してもう少しお話しておきましょう。