真・MFC千夜一夜物語 第398話 MFCの流量はなぜずれるの? その2
熱式マスフローコントローラー(MFC)のユーザーから、「MFCも流量出力は変化が無いのに、どう考えても流量がずれているように思えるのですが・・・」という問い合わせを頂く事があります。
ハンチングやオーバーシュート、応答遅れ、出流れといったMFCの不具合でもP.V.をモニターすることで容易に異常を検知できるトラブルならば早期発見が可能です。