新世代デジタル圧力センサー

HYZシリーズ

40万台以上の生産実績を持つ(株)テムテック研究所の圧力センサーの中でも特に半導体プロセス分野でHYPシリーズ、ARHシリーズが培ってきた高い信頼性をベースに、

1.ゼロドリフトの低減(温度特性の向上)

2.ケーシングの剛性アップ

3.センサーの小型化

を実現すべくHYZシリーズは初のデジタル圧力センサーとしてデビューしました。

圧力検出部はアナログ回路です。センサー部で得られる信号を増幅してやってADコンバーターでデジタル信号に変換した後、温度補正や直線性補正等の処理をデジタルで行っているものをデジタルマスフロー、デジタル圧力センサーと呼称します。

圧力センサーにマイコン（CPU、EEPROM、AD/DAコンバーター）を搭載しデジタル処理による温度補正を行うことのメリットは多点補正が容易に行えることです。
ゼロ点への温度影響を低減するべく最大3点の温度補正が行えるようになっています。
その結果、非常に優れた温度影響値　±0.01%FS/℃を実現することで、ゼロ点の長期安定性能飛躍的に向上させることが可能になったのです。
同時にデジタルリニアライザーにより、直線性性能も多点補正(最大4点)の効果で従来品性能保証値±0.3%FSをはるかに上回る±0.2%FSを達成しています。

デジタル圧力センサーは、製造時にアナログセンサーのようにトリマーを作業者が回して調整する作業がありません。
全てPCからの通信で自動調整が可能です。
アナログトリマーの調整では、作業員のスキル差＋トリマー部の抵抗経時変化、ノイズ耐性の低下等の器差を産む要素が存在します。
これらの不安要素を一掃できることがデジタル化の真の意味です。

＊ただしゼロ点調整用トリマーだけは、従来のアナログセンサーに慣れたお客様への配慮で残してあります。

剛性向上は、従来品で使用していたネジ止め構造を廃し、YAGレーザーと圧入に変更されています。この構造変更で落下試験、衝撃試験の結果は良好です。

小型化にも上記のケーシングの構造変更が大きく貢献しています。従来センサーとの大きさ比較を上の写真で見ていただきましょう。一目で小型化が達成されたのがおわかりいただけるでしょう。

また、写真ではわからない重量に関しても50%軽減されています。