真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第361話　流量と圧力制御は同時にはできませんよ！　その2

「1台の機器に流量センサーと圧力センサーを搭載することは可能ですが、その両方で制御をすることはできませんよ。」というお話です。
なぜならばバルブをPID制御するに当たって、流量信号なのか？圧力信号なのか？どちらを優先するかを決めてやらないといけないからです。

「でも、PI-MFCは流量と圧力両方の信号を使って制御していますよね？」という反論を頂く事がありますが、違うのですね。

PI(Pressure Insensitive)-MFCの動作に関して、既出のこの図を見てください。

PI-MFCはあくまで流量センサーからの信号と設定信号を比較して一致するように流量制御バルブを制御するMFCです。
ただ、急峻な圧力変動があったと圧力センサーが感知した時だけ、流量センサーからのフィードバック制御を停止する（もしくは制御を緩慢化させる）機能を追加しただけなのですね。

「では、圧力式MFCは？」というご質問もいただきます。
圧力式MFC（Decoは圧力式フローコントローラーとも呼称してます。）これも圧力センサーを用いてはいますが、圧力信号を流量制御に使っているのではなく、あくまで熱式流量センサーの代替として差圧式流量計（絞り式やラミナーフロー式）の原理で圧力値から流量を算出して流量信号として取り出すことで、流量制御バルブをPID制御しているだけです。

圧力式フローコントローラー動作原理の一例

まずはPI-MFCや圧力式MFCという存在を正しく理解して使う事から始めましょうね。

5/3(火）の更新は連休中という事もあり、お休みさせて頂きます。
次回更新は5/10(火)の予定です。
宜しくお願いいたします。

【あなたにＭＦＣの夜が来る～真・ＭＦＣ千夜一夜物語】by Deco　EZ-Japan