【続々報】FLEXI-FLOW Compact “TCS-Technology”

ブロンコスト（Bronkhorst HIGH-TEC.B.V.　 日本法人はブロンコスト・ジャパン(株)）の発表した新製品 FLEXI-FLOW Compact に関する続々報です。

出展：ブロンコスト・ジャパン(株)　日本語訳：EZ-Japan

前回確認中だった流量センサー部の構造に関する資料が一部公開されています。

FLEXI-FLOW Compactに採用された流量センサーは、TCS（Trough Chip Sensor）Technology　バイパスフローセンサーと呼称されています。

今までの巻線型とMEMS型を融合して、巻線型センサーの器差の原因であったニクロム線を巻いたセンサーから脱却しつつ、従来培ってきた分流構造でのブロンコストのバイパスに関わるノウハウを活かし、広いレンジで高い精度、繰り返し性を維持できるセンサー技術なのです。

基本的に、このセンサーは2つの真っ直ぐな窒化ケイ素キャピラリーで構成され、それぞれの直径は100μm、壁の厚さは1μmです。
上部の温度依存の金属抵抗器は、ヒーターおよび温度センサーとして機能します。

出展：ブロンコスト・ジャパン(株)

流路にただMEMSセンサーを置くのではなく、今まで培ってきた巻線型センサーのセンサー部をまさにMEMSで再現する事で、今まで培ってきた分流（バイパス）技術を利用した多彩な流量・圧力レンジでへの拡張性をうかがわせるブロンコストらしいマスフローセンサーだと思います。

まさに温故知新、Decoの好きな言葉です。

EZ-Japan "Deco""こと　黒田 誠