ブロンコストの隠れたヒット商品EL-PRESS/IN-PRESSシリーズ

ブロンコスト(Bronkhorst High-Tech B.V.)の隠れたヒット商品であるEL-PRESS/IN-PRESSシリーズのご紹介をしましょう。
EL-PRESS/IN-PRESSシリーズはAPC（Automatic Pressure Controller)に分類されます。

IN-PRESSシリーズ　出典：ブロンコスト・ジャパン(株)

ブロンコストのAPCには圧力センサーの位置で大きく分けて２種類あります。
圧力センサーが流量制御バルブの前(上流)にあるものと、後ろ(下流)にあるものです。
MFCの場合、流量センサーは流れを計りますので、バルブの前にあろうと後ろにあろうと、そのポイントの流量に応じた制御という事になり、用途は変わりませんが、圧力の場合は流量制御バルブで同圧になっている空間が仕切られますので、APCからみた上流の圧力を計って制御したいのか？それとも下流なのか？によって、製品の選定が変わってくるのです。

① 一次側圧力制御型APC　P-700シリーズ

このタイプは圧力センサーが上流側にあります。
一般的なMFCの流量センサーと同じ配置ですね。
圧力センサーがAPCより上流の圧力を測定していますので、APCの上流側圧力を一定にしたい場合に使用されます。
具体的には真空チャンバーの排気系に使用して背圧制御をしたり、ある圧力で封入されるべきワークのガス抜き弁として作動させたりします。
手動背圧弁の自動化目的で使われる用途が多いですね。

② 二次側圧力制御型APC　P-600シリーズ

こちらは上流側に制御バルブ、下流側に圧力センサーを配置したタイプです。
このタイプはAPC下流側の圧力を一定に保つように制御しますので、チャンバーやワーク側から見た場合は供給圧力制御目的のAPCになります。
手動調圧弁の自動化目的で使われる用途が多いですね。

APCとMFCは似ているようで、用途は全く異なります。
更にAPC選定する場合は、調圧弁的な用途なのか？背圧弁的な用途のか？を考慮頂き、決めて頂くと良いと思います。
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