なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの？

MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題"Decoのマスフロー徒然日記"です。
さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。

でも、このMFC業界や半導体業界は、それ以外の業界の方々にとっては、わかりにくいのかもしれません・・・
Decoのように、ずっとお世話になていると、当たり前でしょ？と思っている事を質問されたりするので新鮮です。

「なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの？」という御質問がありました。
この答えはシンプルで、「半導体製造装置の一部では、MFCで流量制御するガスラインが多いから」なのです。
相変わらず身もふたもない回答をしてしまうDecoなのですが、いや、これこそが真実なのです。

半導体製造装置といっても、工程ごとに色んな装置が存在しています。
そして、その全てがMFCを使う訳ではありません。
エッチャー、CVD、拡散、スパッタといったところでしょう。
その中でもエッチャーは色んなガス種を使います。

注意）上図に記載されたガス種は、あくまでその工程で使われているガスを入れただけです。
特定の装置やプロセスを表したわけではないのでご注意ください。

例えばスパッタとエッチャーでこれくらいガスラインの量が異なったりします。
更に80年代以降、装置の枚葉化（マルチチャンバー化）が進んだので、1装置に複数のチャンバー、例えばエッチャーなら4～6チャンバー搭載されますので、このライン数×チャンバー数のMFCが使われる訳です。
1台装置が売れると、MFCがこの数だけ売れる訳なのです。
美味しい・・・もとい！ありがたいですね。
これはどの分野の装置よりも圧倒的に多いというのが、今まで色々な業界とお仕事をしてきたDecoの感想です。

その辺りのマーケットを含めたお話は、来年くらいには千夜一夜物語で書かせて頂こうかと思っています。お楽しみに！

【Decoのマスフロー徒然日記】　by Deco　EZ-Japan