真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第307話　MFCとは不思議な存在　その7

前回はPI（=Pressure Insensitive）、つまり圧力変動影響緩和型マスフローコントローラー（MFC）を例に取って、MFCの自動制御をやめさせる機能が、逆にプロセスでは役に立つこともあるというお話をしました。

MFCが外部から入力されたSV(流量設定信号)と、流量センサーが計測したPV(流量信号)が一致するようにMV(バルブ制御信号）を可変させる自動制御機能を搭載している事は、一つの大きなアイデンティティなのですが、時と場合によるという事ですね。 

自動制御という独自性をMFCから奪うならば、MFCを流量センサーと流量制御バルブ、そして調整計の一体型である必要性も薄くなることになります。

特に調整計の機能は、装置側のPLCでPID制御を行い、大量のデータを高速で伝達できる産業用イーサーネットで流量センサーからのPVと流量制御バルブのMVをやり取りすればいいのではないかとDecoは考えています。(下図)

このシステム案は20年近く前、フィールドバスが普及し始めた頃にDecoと業界に友人で考えたシステムに遡るのですが、コストや互換性、通信速度他の問題があってお蔵入りにしたものでした。その後のMFCの進化の道を振り返ってみると、PI-MFCに行く前にもっと積極的に熟成して御提案すべきだったかと、悔やんでもいます。

この独立した流量制御バルブ(比例制御弁)をメインに据え、流量センサーによる流量制御、圧力センサーによる圧力制御、そしてPLCからの指示で任意開度でバルブをホールドする等の機能を備えた流量モジュールに関しては、これから色々と発信していこうと考えています。

【あなたにＭＦＣの夜が来る～真・ＭＦＣ千夜一夜物語】by Deco　EZ-Japan