真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第315話　MFCに互換性はあるの？その1

マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)のメーカー間での互換性に関する質問をよくいただきます。

この回答は「あるようでない・・・」と、いつもDecoはお返ししています。

あると言えばあるのです。例えば半導体製造装置だと、6-8インチウエハー時代は、VCRタイプ継手を使った2種類の面間、300mmウエハー対応装置ではIGS(Integrated Gas System)仕様の2種という形に、どのメーカーのMFCも大方作られています。

ですが、VCRタイプ継手で2種類の124mmと106mmという面間が存在していたというのも、この装置に搭載されたMFCが老朽化して交換の必要があった際に、124mmタイプで106mm用の配管には取付できませんし、その逆も106mmタイプを継手配管で延長するには差が18mmしかないので難しくなります。
（そういうこともありこの"少しだけコンパクトなＭＦＣ"はあまり流行りませんでした・・・）

IGSタイプも、1.5インチと1.125インチというMFCで言うと奥行方向の寸法差がありますし、取り付ける際のシール方式もWシールとCシールがあります。(その昔はもっとありました、CS、H1G・・・)

なのでやはりそこをちゃんと確認して交換用のMFCを手配しないといけないわけです。

これは半導体製造装置の世界だけの事で、その他の業界向けMFCでは、また異なってきます。

ま、ブロンコストさんのW:30ｘD:20ｘH:40mmという小さなMFCまで世の中にはあるのですから、仕方ないのですけどね。

【出典：ブロンコスト・ジャパン(株)】

互換性があるようでない＝１つの配管規格に統一しきれていないのがMFCの泣き所です。

【あなたにＭＦＣの夜が来る～真・ＭＦＣ千夜一夜物語】by Deco　EZ-Japan