真・MFC千夜一夜物語 第355話 超高温用マスフローの現状 その3
久しぶりに高温用マスフローコントローラ(以下MFC)とマスフローメータ(以下MFM)に関して、情報のアップデートをしていきたいと思います。
高温用マスフロー(MFCとMFMの総称)の問題点を整理してみましょう。
高温用マスフローは、その特殊な構造が災いして2つの問題点を持っています。
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久しぶりに高温用マスフローコントローラ(以下MFC)とマスフローメータ(以下MFM)に関して、情報のアップデートをしていきたいと思います。
高温用マスフロー(MFCとMFMの総称)の問題点を整理してみましょう。
高温用マスフローは、その特殊な構造が災いして2つの問題点を持っています。
久しぶりに高温用マスフローコントローラ(以下MFC)とマスフローメータ(以下MFM)に関して、情報のアップデートをしていきたいと思います。
高温用マスフロー(MFCとMFMの総称)と常温タイプの外見上の差異は明確です。
マスフローというお弁当箱が直立したような形の機器は、その外観では機能を計りかねる製品で、どれもが同じような形状であるのに対して、高温用マスフローだけは非常にわかりやすい構成を取っています。
久しぶりに高温用マスフローコントローラ(以下MFC)とマスフローメータ(以下MFM)に関して、情報のアップデートをしていきたいと思います。実は最近、高温用途のマスフロー(MFC&MFM)に関する問い合わせが、増えてきているのです。
マスフローコントローラー(MFC)やマスフローメーター(MFM)でラバーシールモデル(エラストマーシールモデル)で毒性ガスを流そうとしていませんか?
あまり知られていない(実はDecoも受け売りです。)事ですが、毒性ガスに使用できる継手種というのは高圧ガス保安法で定めがあります。
マスフローメーター(MFM)やマスフローコントローラー(MFC:MFM&MFCを総称してマスフロー)は流量計の中でも質量流量計に分類されます。
サーマル(熱式)マスフローメーター(MFM)&マスフローコントローラー(MFC)で断トツで小型なのがブロンコスト・ハイテックのIQ+FLOWシリーズ です。
写真の傍らに置いた五円玉と比較して頂ければ、その大きさがご理解いただけると思います。
謹賀新年。
本年もEZ-Japan BLOG、真・MFC千夜一夜物語を、宜しくお願いいたします。
新年は1/11のブログ更新予定でしたが、皆さん既に仕事始めの方も多いようですので、1/11更新予定分を前倒ししてアップさせて頂きますね。
半導体製造装置市場向けで注目を集めている圧力式フローコントローラーに関する解説です。
各メーカーの圧力式フローコントローラーを俯瞰していってます。
解説にはDecoの主観が入っていますので、鵜吞みにせずに詳細は各メーカーさんに確認してくださいね!
EZ-Japanは、2021年12月25日(土)~1月10日(月)まで、年末年始休暇とさせていただきます。
EZ-Japan BLOG更新は12月28日(火)が年内最後のMFC千夜一夜物語の予定です。
年明けは1月11日(火)の更新からとなります。
来る12月15日(水)~17(金) 東京ビックサイトにてセミコン・ジャパンが開催されます。